一种高效晶硅/非晶硅异质结太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种高效晶硅/非晶硅异质结太阳能电池，包括硅层衬底、设置在硅层衬底正面的本征非晶硅层一以及设置在硅层衬底背面的本征非晶硅层二；所述本征非晶硅层二的背面依次设置有掺杂非晶硅层A和TCO层一，还包括：受光面掺杂层和TCO层二，所述受光面掺杂层设置在所述本征非晶硅层一的正面，所述TCO层二设置在所述受光面掺杂层的正面；所述受光面掺杂层至少包括掺杂非晶硅层B和掺杂微晶硅层。本发明制备的高效晶硅/非晶硅异质结太阳能电池在减小HJT电池受光面非晶硅寄生吸收的同时，也提高受光面非晶硅层的导电性，膜层同时具有优异的光学性能和电学性能。