铝蚀刻液回收再利用的装置与方法

摘要

本发明公开了一种铝蚀刻液回收再利用的装置与方法，该装置包括废酸储罐，其连接至反应釜进料管线，反应釜还连接有五氧化二磷加料管线；反应釜出料口连接至蒸发器，蒸发器出料口连接至蒸发分离器，蒸发分离器气体出口依次连接乏气冷凝器和乏气分离器，蒸发分离器液体出口连接至磷酸汽提塔，后依次连接磷酸调和釜和磷酸储罐；磷酸汽提塔下部设有氮气通入管道。采用本发明的装置与方法，可有效将废铝蚀刻液中的磷酸与硝酸、醋酸分离，硝酸和醋酸回收可再用于生产蚀刻液，还可根据需要调配得到各个浓度的工业磷酸，变废为宝。