用于直写式光刻系统中的PCIe DMA数据传输系统及其传输方法

摘要

本发明涉及一种用于直写式光刻系统中的PCIe DMA数据传输系统及其传输方法。传输系统包括上位机、PCIe硬核、引擎控制模块、寄存器读写模块、C2H异步缓冲模块、H2C异步缓冲模块和用户接口模块；上位机和PCIe硬核交互式连接；PCIe硬核和引擎控制模块交互式连接。引擎控制模块包括寄存器模块、中断模块、SGDMA引擎、SGDMA读缓冲池和SGDMA写缓冲池。用户接口模块包括USER寄存器、TX数据发送接口、RX数据接收接口、动态同步存储器DDR4和曝光处理模块。本发明能够解决现有直写光刻式光刻机系统传输带宽能力不足、实时性不高的问题，提高系统分散内存的利用率、稳定性和传输带宽。