基底支撑装置和使用该基底支撑装置抛光基底的方法

摘要

提供了一种基底支撑装置和使用其抛光基底的方法。所述基底支撑装置可以包括设置在框架中的多孔吸盘、设置在多孔吸盘上的吸附垫以及设置在多孔吸盘与吸附垫之间的粘合剂层。吸附垫可以包括弹性层和与弹性层结合的多孔层。粘合剂层、弹性层和多孔层中的每个可以包括分别在厚度方向上延伸的贯穿部分。基于Asker C硬度标度，吸附垫可以具有100或更小的硬度值。