公开/公告号CN111073016A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-04-28
原文格式PDF
申请/专利权人 南京福仕保新材料有限公司;
申请/专利号CN201911337533.8
发明设计人 林群;
申请日2019-12-23
分类号
代理机构南京苏科专利代理有限责任公司;
代理人徐振兴
地址 211100 江苏省南京市江宁区苏源大道19号(江宁开发区)
入库时间 2023-12-17 08:04:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-22
实质审查的生效 IPC(主分类):C08J7/06 申请日:20191223
实质审查的生效
2020-04-28
公开
公开
机译: 低温化学气相沉积的方法和设备-cvd的沉积-和pecvd(等离子增强化学气相沉积)-薄膜
机译: 用电子束结晶化等离子体增强化学气相沉积形成的氢态非晶硅薄膜的方法,制造多晶硅硅酸盐薄膜的方法和用该方法制造的多晶硅硅酸盐薄膜的方法
机译: Cat-PECVD(催化等离子体增强化学气相沉积)方法,使用相同的材料制成的薄膜,以及配备有该薄膜的薄膜设备