基于CMOS图像传感的光栅波导微流体芯片

摘要

本发明提供一种基于CMOS图像传感的光栅波导微流体芯片，包括：光栅波导和微流道，光栅波导包括出射光栅，出射光栅位于微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入微流道内，还包括：依次由下而上设置的CMOS图像传感层、下包层、波导层、保护层和上包层；所述波导层是在25‑150℃沉积温度下形成的氮化硅材料，波导层用以形成光栅波导；保护层是二氧化硅材料，用以覆盖光栅波导并保护出射光栅；微流道贯穿所述上包层以暴露出保护层。具有有益效果：在CMOS图像传感层和高分子聚合材料上低温沉积光学性能可调的氮化硅光波导，不破坏CMOS图像传感层，减少了实验中对收集光路调整等准备工作，提高了实验效率；提高了检测系统的便携性，大大增加了系统的应用场景。