离子束中和方法和离子注入装置

摘要

本发明提供能节约用于抑制离子束膨胀的离子束中和用气体量的方法和离子注入装置。在从导入离子源的掺杂气体的等离子体通过引出电极引出的离子束中，当所述掺杂气体含卤时，不向离子束轨道供给中和用气体，当所述掺杂气体不含卤时，向离子束轨道供给中和用气体。