激光设备和使用该激光设备的衬底蚀刻方法

摘要

公开了激光设备和使用该激光设备的衬底蚀刻方法。激光设备可包括激光发生器、光学系统和台，其中，激光发生器生成用作输入光的至少一个激光束，光学系统将从激光发生器提供的输入光转换为多个图案光，并且目标物体被装载到台上。输出光可照射到目标物体上。光学系统可将输入光划分成多个分光，并且图案光可通过多个分光的相长干涉而生成。图案光中的每个的直径可小于输入光的直径。