可在线自检测的MEMS微波功率传感器及制备方法

摘要

本发明的可在线自检测的MEMS微波功率传感器，通过将电容式MEMS微波功率传感器和对称热电式MEMS微波功率传感器串联在MIM电容两侧，构成双通道MEMS微波功率传感器；利用分压法，通过向连有标准电阻的压焊块上施加参考电压，即可对负载电阻的阻值进行检测；被检测电阻若处于正常工作状态下，热电堆两侧的负载电阻会分得相同的电压并转化为相同的热量，即热电堆两侧的温差完全由输入的微波功率产生；并且由于在左侧共面波导信号线上设有MIM电容，隔绝MEMS悬臂梁下方的共面波导信号线和后方的共面波导信号线的直流互联，以实现测量微波功率的同时检测负载电阻的功能；该MEMS微波功率传感器具有低损耗、高灵敏度以及具有终端电阻在线自检测的特点。