一种双压电体并排惯性驱动的片型旋转马达及扫描探针显微镜

摘要

本发明双压电体并排惯性驱动的片型旋转马达，包括第一压电体、第二压电体、基座、转盘片、转轴、第一压臂、第二压臂，第一压电体与第二压电体按照形变方向平行固定于基座，两压电体均为片状的伸缩压电体，它们为等厚共面设置，构成双驱动压电片，转轴垂直于转盘片盘面并固定于转盘片中心，构成共轴旋转结构，第一压臂与第二压臂的一端分别固定于第一压电体与第二压电体的自由端，两压臂平行并在双驱动压电片同一侧，且都平行于两压电体形变方向，两压臂另一端都指向基座，且弹性地夹持住转盘片边缘，两压电体形变方向以及两压臂均平行于转盘片盘面，转轴为对外力矩输出轴。本发明厚度尺寸小，适于空间受限的管状极端条件尖端测量仪器旋转的应用。