对应力不敏感的MEMS电容式Z轴加速度计

摘要

本发明公开了一种对应力不敏感的MEMS电容式Z轴加速度计，敏感单元包含衬底、可动质量块、固定梳齿、定齿锚点、支撑梁和中心锚点；可动质量块经两支撑梁悬挂于中心锚点，中心锚点固定于衬底上；可动质量块以支撑梁为扭转轴，分布在支撑梁两侧的可动质量块具有质量差；中心锚点两侧的衬底上设置有以支撑梁为对称的定齿锚点，固定梳齿设置在定齿锚点上；可动质量块朝向定齿锚点的方向设有可动梳齿，可动梳齿配合地插设在固定梳齿之间，在中心锚点两侧各形成一组梳齿电容。本发明的对应力不敏感的MEMS电容式Z轴加速度计，具有线性度好、温度漂移小、长期稳定性好、不显著增加制造难度等优点。