电性失效图形判别装置及判别方法

摘要

本发明涉及集成电路领域，提供了一种电性失效图形判别装置及判别方法，用于对芯片上经过电性测试后的多个电性失效图形进行判别并归类，所述电性失效图形判别装置中，图形提取模块用于获取其中两个电性失效图形，特征比较模块用于比较所述两个电性失效图形是否具有包含与被包含的关系，若是，则属于包含一方的其中一个电性失效图形的归类优先级高于属于被包含一方的另一个电性失效图形的归类优先级，若否，则所述两个电性失效图形的归类优先级相同。利用所述电性失效图形判别装置有助于避免由于图形特征具有包含与被包含关系所导致的归类错误的问题，提高良率分析的准确性。本发明另外提供了一种电性失效图形判别方法。