一种提高薄膜太阳能电池薄膜均匀性的方法

摘要

本发明公开一种提高薄膜太阳能电池薄膜均匀性的方法，包括以下步骤：a、在溅射腔室内，沿基底传送方向间隔设置一组光电探测器，光电探测器用于检测镀膜基底传送时的位置；光电探测器与生产线PLC相连，PLC与镀膜溅射电源相连控制镀膜溅射功率；b、取测试基底置于溅射腔室内在测试基底表面溅镀薄膜；c、沿测试基底传送方向测量步骤b得到薄膜的厚度，并分析沿测试基底传送方向各个薄膜位置与镀膜溅射功率的对应关系曲线；d、取溅射基底置于溅射腔室内，PLC根据溅射基底的位置、同时结合步骤c得到的对应关系曲线控制镀膜溅射功率增大或减小，使溅射基底上的薄膜厚度保持均匀。