半导体结构及其形成方法和人工智能芯片及其形成方法

摘要

一种半导体结构及其形成方法和人工智能芯片及其形成方法，所述半导体结构包括：第一基底，所述第一基底具有非感应面，所述第一基底包括图像传感区和微机电系统区，所述图像传感区内具有图像传感器，所述微机电系统区内具有微机电系统器件；与所述第一基底键合的第二基底，所述非感应面朝向所述第二基底，所述第二基底包括存储区，所述存储区在所述第一基底表面具有第一投影，所述图像传感区在所述第一基底表面的投影在所述第一投影的范围内，且所述微机电系统区在所述第一基底表面的投影在所述第一投影的范围内。所述半导体结构能够增加单个芯片功能、减少芯片的占用面积、提高芯片的集成度并且降低芯片的成本。