软错误检查方法、软错误检查装置以及软错误检查系统

摘要

在半导体器件中的软错误检查方法中，通过具有如下特征的软错误检查方法来解决上述课题，具有：对上述半导体器件照射激光或者电子束并进行扫描的工序；以及对上述半导体器件的被照射上述激光或者上述电子束的每个区域测定位反转的时间并存储的工序。