一种并联式三自由度压电谐振自致动机构及其激励方法

摘要

本发明涉及一种并联式三自由度压电谐振自致动机构及其激励方法，属于压电驱动领域，可以用于精密驱动、医疗、微机械等领域。本发明是为了解决现有的三自由度压电自致动装置输出力较小、成本高、致动能力不足的问题。本发明的三自由度压电谐振自致动机构为换能器并联组合结构，所述该电谐振自致动机构包括四个结构完全相同的柱状压电换能器及其连接装置，自致动机构含四个驱动足用于组合致动。本发明所述该自致动机构的激励方法是根据平移或旋转运动的方式通过两相或四相电压激励信号分别激励四个柱状压电换能器各自有时序的纵振从而形成其组合纵振，带动驱动足运动，实现其在工作平面上的三自由度致动功能。