PVD样品转架和PVD设备

摘要

本申请提供一种PVD样品转架和PVD设备。该PVD样品转架包括转动底盘(1)、转轴(2)和样品固定框架(3)，多个转轴(2)沿转动底盘(1)的周侧设置，各转轴(2)均能够转动地设置在转动底盘(1)上，每个转轴(2)上沿周向设置有多个样品固定框架(3)。根据本申请的PVD样品转架，能够提高单次挂样数量，提高制样效率。