基于微电子机械系统的可调量程的电容式微力测量传感器

摘要

本发明公开了一种基于微电子机械系统的可调量程的电容式微力测量传感器，能够实现单方向的范围较广的高精度微力测量。本发明的机械部分采用微电子机械系统和梳状电容结构，两个梳状电容的电容对数为50～200，具有很高的位移灵敏度。本发明的电路部分可以把位移量转化为电压信号，通过改变电路参数，可以调节传感器的灵敏度从而改变其量程以测量不同范围的微力。本发明的量程调节范围为由±20μN至±200μN，测量误差小于30nN。