一种跨尺度高分辨三维激光直写加工方法

摘要

本发明公开了一种跨尺度高分辨三维激光直写加工方法，包含以下步骤：(1)根据目标结构不同区域的形貌要求划分加工精度等级；(2)为不同加工精度的区域选择对应的聚焦物镜和位移台，生成对应的加工路径；(3)在激光直写加工过程中，根据目标路径和物镜选择进行聚合加工；(4)显影成型。本发明以双光子聚合激光直写为基础实现跨尺度高精度微加工方法，兼顾亚微米尺度的加工精度和厘米级别的整体结构；采用多个数值孔径的聚焦物镜，提供了多种加工精度的选择，从而解决了单一聚焦物镜对于聚焦焦点大小的限制；根据目标结构不同区域之间的加工精度不同，进一步提高了加工效率，扩大了激光直写的目标尺寸。