公开/公告号CN110876992A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-03-13
原文格式PDF
申请/专利权人 长鑫存储技术有限公司;
申请/专利号CN201811013753.0
发明设计人 不公告发明人;
申请日2018-08-31
分类号
代理机构上海光华专利事务所(普通合伙);
代理人佟婷婷
地址 230000 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630
入库时间 2023-12-17 05:14:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-07
实质审查的生效 IPC(主分类):B05B9/03 申请日:20180831
实质审查的生效
2020-03-13
公开
公开
机译: 粒状材料供应设备,装有该设备的粒状材料供应系统以及使用该设备的粒状材料供应方法
机译: 粒状材料供应设备,装有该设备的粒状材料供应系统以及使用该设备的粒状材料供应方法
机译: 液体材料供应装置,液体材料供应方法,液体供应管吹扫方法以及材料气体供应系统