材料供应系统及材料供应方法

摘要

本发明涉及半导体技术领域，提出了一种材料供应系统及材料供应方法。材料供应系统包括存储装置、气体通道以及材料通道，存储装置包括独立设置的第一储存槽和第二储存槽，第一储存槽和第二储存槽均用于存储供应材料；气体通道与第一储存槽相连通，气体通道与第二储存槽相连通，气体通道用于送入气体；材料通道可切换地与第一储存槽或第二储存槽相连通，以接收由第一储存槽或第二储存槽排出的供应材料。材料通道可以频繁切换与第一储存槽或第二储存槽相连通，即降低了气体在第一储存槽或第二储存槽中的持压时间，从而可避免气体溶入到供应材料中。