一种调节硅纳米线气敏传感器应用湿度窗口的方法

摘要

本发明公开一种调节硅纳米线气敏传感器应用湿度窗口的方法，通过制备多孔性硅纳米线并调控多孔结构特征而有效调节硅基纳米线气体传感器应用的最佳湿度窗口的方法，包括如下步骤：(1)清洗p型轻/重掺杂硅片，(2)将硅片置于氢氟酸和硝酸银混合水溶液中，(3)继而将p型轻/重掺杂硅片放置氢氟酸和过氧化氢的混合水溶液中，(4)硝酸水溶液处理，(5)制作双顶电极形成气体传感器。本发明通过步骤(1)、(3)的不同参数选择，实现可以有效调控多孔性硅纳米线的多孔结构的深度和孔径进而满足不同湿度环境的实际应用需求。该方法具有高效性、操作简单、可重复性好、与硅基COMS工艺兼容等优点，可以更好的实现工业化生产。