一种基于压电陶瓷量测及补偿的宏微复合运动平台及应用

摘要

为了弥补现有技术中的刚柔耦合运动平台结构不合理造成的速度与精度无法统一的技术问题，本发明提供一种基于压电陶瓷量测及补偿的宏微复合运动平台及应用，包括能够直线运动的框形的宏平台、通过柔性铰链设置在宏平台内的微平台以及用于采集宏平台、微平台位移与速度的控制组件，其特征在于：还包括设置在宏平台内圈上的压电陶瓷；该压电陶瓷位于宏平台移动方向的后方，用于检测或补偿宏平台与微平台之间的压力。本发明中的压电陶瓷的连接既增大了刚柔耦合平台的刚度，减小带宽，从而减小高速运动过程中微平台的高频震动；又能够在宏平台到位之后保证微平台的运动补偿能力。