法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-07-21
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G02B5/30 申请公布日:20150304 申请日:20140617
发明专利申请公布后的驳回
2015-04-01
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B5/30 申请日:20140617
实质审查的生效
2015-03-04
公开
公开
机译: 光学薄膜及其制造方法,包括光学薄膜的光学多层膜,光学部件,曝光装置以及包括具有光学膜的光学部件的曝光方法
机译: 多层光学膜厚控制方法,多层光学膜制造方法和多层光学膜溅射装置
机译: 多层光学膜厚控制方法,多层光学膜制造方法和多层光学膜溅射装置