一种单晶硅太阳能离子注入工艺

摘要

本文介绍了一种单晶硅太阳能电池的制作方法。该方法包括利用离子注入的方法在p型硅片衬底上形成n型掺杂层，注入后硅片通过单次高温退火工艺实现掺杂原子的激活，并推进形成一定结深的p-n结，退火过程中通入氧气以在硅片表面形成二氧化硅钝化层。正面和背面接触的烧结过程在高温烧结炉中一次烧结形成。