一种用于大功率RF MEMS开关的高温金属微电极的制备方法

摘要

本发明公开了一种用于大功率RF MEMS开关的高温金属微电极制备方法，共有八个步骤。采用高温难熔金属电极是RF MEMS开关实现大功率处理能力的解决方案。通常高温难熔金属的硬度很高而且内应力特别大，金属铱和金属钌的杨氏模量比金的大6～7倍，金属铂的杨氏模量比金的大2倍。为了实现RF MEMS开关器件的高可靠性，应用于RF MEMS开关的高温金属微电极还需要有光滑的表面与边缘,同时为了解决铂族金属内应力产生的问题，在本发明采用了特殊设计的带金属层的双层剥离工艺，并增加的缓冲层用于减少上层铂族高温熔化金属的内应力，实现高温金属微电极的光滑表面与边缘。这有利于提高器件的性能与可靠性。