在已印制油墨玻璃上镀制消影层及ITO层的工艺方法

摘要

本发明提供一种在已印制油墨玻璃上镀制消影层及ITO层的工艺方法，涉及电子显示平板生产技术领域，采用切割磨边好的触控基板玻璃，进行化学强化处理；在处理后的基板玻璃上印制油墨边框；采用大气低温等离子体射流(Air Plasma)清洗处理工艺去除基板玻璃表面油墨中有机物残留；采用纯水进行清洗；采用真空磁控溅射方法依次镀制H膜层、L膜层、ITO膜层，基板玻璃镀膜温度为210-250℃。本发明提供的在已印制油墨玻璃上镀制消影层及ITO层的工艺方法，通过大气低温等离子体射流(Air Plasma)前清洗处理，解决了直接在油墨上镀制消影层附着力不足、造成消影层掉膜的缺陷；解决了直接在油墨上镀制ITO膜层对温度要求较高的缺陷，同时优化消影效果。