用于制作光分路器的玻璃光波导的生产工艺

摘要

本发明公开了用于制作光分路器的玻璃光波导的生产工艺，包括如下步骤：研磨层制作，在玻璃基片上溅射一层铝，作为离子交换时的掩膜层；光刻处理，将需要的波导图形用光刻胶保护；去掉铝膜，采用化学腐蚀，将波导上部的铝膜取掉；沟道型光波导制作，将做好掩膜的玻璃基片放入含银离子和钠离子的混合溶液中，进行离子交换，得到沟道型光波导；掩埋型玻璃光波导制作，对沟道型光波导施以电场，将银离子趋向玻璃基片深处，得到掩埋型玻璃光波导。本发明通过上述原理，能够让银离子和钠离子的交换更彻底快速，银离子能更好的趋向玻璃基片深处，制得的玻璃光波导品质更好。