法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-01-09
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C07H13/08 申请公布日:20150211 申请日:20140430
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-03-11
实质审查的生效 IPC(主分类):C07H13/08 申请日:20140430
实质审查的生效
2015-02-11
公开
公开
机译: 用于化学增幅型光致抗蚀剂的聚合物,一种化学增幅型光致抗蚀剂组合物及其制备方法
机译: 用于生产正性光致抗蚀剂的聚合物和化学增幅型正型光致抗蚀剂组合物
机译: 制造包含相同的光致抗蚀剂和化学增幅型正性光致抗蚀剂组合物的共聚物