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可控尺寸及表面结构的纳米柱阵列制备方法

摘要

本发明公开了一种可控尺寸及表面结构的纳米柱阵列制备方法,对SiO

著录项

  • 公开/公告号CN104310304A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-01-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海大学;

    申请/专利号CN201410564829.4

  • 申请日2014-10-22

  • 分类号B81C1/00;

  • 代理机构上海上大专利事务所(普通合伙);

  • 代理人何文欣

  • 地址 200444 上海市宝山区上大路99号

  • 入库时间 2023-12-17 03:04:46

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-10-19

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B81C1/00 申请公布日:20150128 申请日:20141022

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2015-02-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):B81C1/00 申请日:20141022

    实质审查的生效

  • 2015-01-28

    公开

    公开

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