一种砷化镓基多晶无液封合成装置

摘要

本发明一种砷化镓基多晶无液封合成装置提供一种包括合成炉体和位于所述合成炉体内的石墨系统，石墨系统包括保温单元、加热单元和合成单元，所述保温单元包括石墨保温罩和石墨保温桶，所述加热单元包括电极、加热器和外围温控电路，所述合成单元、以及所述加热单元中的电极和加热器位于所述保温单元的内部，所述加热单元中的加热器和电极位于所述合成单元外围中下部，所述合成单元包括石墨坩埚盖、石墨坩埚和氮化硼坩埚，其特征在于，所述石墨系统还包括使所述合成单元升降转动的运动单元，所述运动单元与所述合成单元、所述合成炉体相连接；所述石墨坩埚和所述石墨坩埚盖在连接处设计有互相啮合的台阶形状。