法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-10-24
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01N21/88 申请公布日:20141217 申请日:20140818
发明专利申请公布后的驳回
2015-01-07
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/88 申请日:20140818
实质审查的生效
2014-12-17
公开
公开
机译: 图像检查系统和图像检查方法,用于基于具有人工缺陷的参考图像来确定可用于扫描图像中的缺陷检测的阈值
机译: 使用基于SEM的检查系统的缺陷检查方法和SEM缺陷检查装置
机译: 用于缺陷检查的图像成像系统,缺陷检查系统,膜制造方法,用于缺陷检查的图像成像方法,缺陷检查方法和膜制造方法