一种对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的腐蚀液及其制备方法

摘要

本发明公开一种对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的腐蚀液，由以下A、B、C、D、E五种组分组成：A组分为固体柠檬酸；B组分为双氧水；C组分为胺类化合物；D组分为氨基酸类化合物；E组分为去离子水；上述组分的加入量按质量计算为：A组分为5～150份，B组分为10～100份，C组分为1～20份，D组分为1～20份，E组分为100份；优选所述A组分纯度大于99.8%，所述B组分的质量浓度为30%；本发明还公开上述腐蚀液的制备方法；本发明能够较好控制腐蚀液的腐蚀速率，增强腐蚀的均匀性，彻底去除残留物，以获得侧面台阶平整的电池栅线结构。