基于边缘效应的带自我标定的电容式微惯性传感器

摘要

本发明涉及一种基于边缘效应的含自我标定功能的微惯性传感器。现有的带自我标定功能的传感器标定范围小。本发明中敏感器质量块为刻蚀有栅条形井的矩形硅片，四对应端通过硅支撑梁与锚点连接，四对应端分别设置有数量相同、位置对应的矩形硅条。敏感器质量块连接的梳型硅条与固定检测硅条，以及栅形电极和衬底表面的栅形铝电极组成检测电容。当在质量块敏感方向上加载加速度信号时，敏感器质量块上硅条组切割衬底边缘电场的电场线，从而衬底边缘电容发生变化，通过检测微惯性传感器的电容变化最终来检测所加载的加速度的大小。本发明增大了振子质量，减少了吸合现象，减小了布朗噪声；增大了检测电容，减小了压膜空气阻尼。