图案化晶圆缺点检测系统及其方法

摘要

本发明提供了一个检测半导体装置的系统。该系统包括了一个区域系统，从一个半导体晶圆选取多个区域。一个金模版系统，为每一个区域生成一个区域金模版，以使得一个晶片图象可以和多个区域的金模版相互对比。一个组金模版系统，从区域金模版中生成多个组金模版，以使得所述的晶片图象可以和多个组金模版中的金模版相互对比。