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机译:分步和快速压印光刻的图案化晶圆缺陷密度分析
机译:减少喷射和闪光压印光刻中高密度全场图案的缺陷
机译:通过全晶圆和卷对卷步进和闪光纳米压印光刻技术生产的塑料基板单层宽带抗反射涂层
机译:分步和快速压印光刻技术在基板上制备晶圆级近乎完美的有序多孔氧化铝
机译:使用分步和闪光压印光刻技术进行全晶圆压印图案化:亚100 nm图案化的制造解决方案
机译:压印模板的发展和表面改性,以及分步和快速压印光刻的缺陷分析。
机译:通过全晶圆和卷对卷分步闪光纳米压印光刻技术生产的塑料基板单层宽带抗反射涂层
机译:使用步进和闪存压印光刻图案化的所有权成本分析
机译:基于红外脉冲激光加热的纳米图案混合纳米压印光刻法