A machanical vision designing of PZT wafer defect inspection system

摘要

压电晶体PZT产品常有裂纹、油污、破损及涂胶不均等表面缺陷，且缺陷尺寸、形状不确定，因而导致人工分检难度大，分检合格率低。为此本文提出了用机器视觉检测PZT产品的表面缺陷，研究在产品图像准确获取的基础上，通过图像增强、图像分割和缺陷特征提取的算法实施，由软件程序确定PZT产品的表面缺陷。本文主要研究内容如下： ①采用空间域和频域方法增强待测PZT图像特征，并用微分算子法和阈值分割进行PZT图像边缘分割，从而完成了工件图像在背景中的分离，降低处理的复杂性，提高处理速度。 ②采用区域连通的轮廓识别方法，给出金属基片与PZT感受膜的图形，根据图形内外轮廓的偏心距判断工件缺陷；采用波长400nm紫...