基于光谱干涉的透明材料折射率及厚度测量装置和测量方法

摘要

本发明属于光学材料测量技术领域，具体为一种基于光谱干涉的透明材料折射率及厚度测量装置和测量方法。本发明测量装置包括：一低相干度光源、分束镜,两片平板玻璃组成的F-P腔,二维样品台、待测样品、聚焦透镜、耦合光纤、光谱仪和计算机；测量时将F-P腔调至使入射光垂直入射，待测量样品插入腔内并使光束垂直入射样品表面，通过测量样品放入腔内前后的两幅光谱数据，就可以计算出样品的几何厚度d和群速折射率ng；本发明测量装置结构简单，测量方法操作简便，测量精度高。系统易于制成小型化和便携式装置。