公开/公告号CN103814429A
专利类型发明专利
公开/公告日2014-05-21
原文格式PDF
申请/专利权人 科磊股份有限公司;
申请/专利号CN201380003145.0
申请日2013-05-21
分类号H01L21/027;G03F1/42;
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人张世俊
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-17 00:25:44
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-01-06
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/027 申请公布日:20140521 申请日:20130521
发明专利申请公布后的视为撤回
2014-05-21
公开
公开
机译: 具有正交下层虚拟填充的覆盖目标
机译: 具有正交下层虚拟填充的覆盖目标
机译: 用正交下层虚拟填充物覆盖目标