用于气体的脉冲进样装置、脉冲进样方法及其用途

摘要

本发明涉及用于气体的脉冲进样装置、利用该装置的脉冲进样方法及其用途。更具体地，用于气体的脉冲进样装置包括载气气源和至少一个反应气气源，所述载气气源和所述至少一个反应气气源分别经由减压阀和质量流量控制器连接至具有采样环的六通阀的不同进口，并且所述六通阀流体联通地连接至样品池，其中通过切换所述六通阀的旋钮，使截留在所述采样环中的反应气被载气带入至所述样品池中，从而形成所述反应气的脉冲进样。采用本发明的脉冲进样装置及方法，能够精确控制反应气体的暴露量，从而减弱甚至消除反应物气相成分对原位谱学测量的干扰；并且能够在不暴露空气的情况下实现不同处理气氛和不同反应物质之间的自由切换。