公开/公告号CN101548030B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-10-03
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN200780032492.0
申请日2007-08-15
分类号
代理机构上海胜康律师事务所;
代理人周文强
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:11:25
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-09-04
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/34 授权公告日:20121003 终止日期:20170815 申请日:20070815
专利权的终止
2012-10-03
授权
授权
2012-10-03
授权
授权
2009-11-25
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-11-25
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-09-30
公开
公开
2009-09-30
公开
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机译: 自组装单层膜,可改善铜层和阻挡层之间的附着力
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