栅极第一高介电常数金属栅极堆栈上无氧的快速热退火

摘要

本发明揭露一种栅极第一高介电常数金属栅极堆栈上无氧的快速热退火，其中，揭示一种改善临界电压(Vt)的半导体装置制造方法及所得的装置。具体实施例包含于衬底上形成高介电常数金属栅极堆栈；植入掺杂剂于衬底的主动区中；以及在氧气不超过30%的氮气环境中进行快速热退火。