微波导入机构、微波等离子源以及微波等离子处理装置

摘要

微波导入机构(43)具备：天线部(45)，其具有将微波向腔室(1)内放射的平面天线(54)；同轴管(50)，其与平面天线(54)连接，向平面天线(54)引导微波；调谐器部(44)，其设置在同轴管(50)上，进行阻抗匹配，平面天线(54)在其面上具有以λg/4+δ的整数倍的间隔同心地描画出了多个假想圆的情况下，在各假想圆上以相同的长度均等地形成了n个(n为2以上的整数)的形成为圆弧状的多个槽(54a)，上述多个槽形成n个群，属于各群的槽具有相互相同的中心角以及角度位置并沿半径方向排列。