偏振测量方法、偏振测量装置、偏振测量系统及光配向照射装置

摘要

本发明提供一种偏振测量方法、偏振测量装置、偏振测量系统及光配向照射装置，用于高精度地测量偏振光的偏振特性。偏振测量方法包括：基于使检测侧偏振器转动的同时测得的依次透过了检测线栅偏振器及检测侧偏振器的光在各转动角度下的光的光量，求解表示所述检测侧偏振器旋转时的所述光量的周期性变化的变化曲线；以及在基于该变化曲线确定透过了所述线栅偏振器的偏振光的偏振特性时，基于所述转动角度下的所述光量，求解所述变化曲线；其中所述转动角度（θ）包含在包含所述变化曲线的构成一个极小点的转动角度（θ）＝（θa）且所述光量（I）为规定值以下的所述转动角度（θ）的范围（Ｗ）内。