Measurement of ellipsometric data and surface orientations by modulated circular polarized light / Messung von ellipsometrischen Daten und Oberflächenorientierungen durch moduliertes zirkular polarisiertes Licht

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• 作者

  Chia-Wei Chen; Matthias Hartrumpf; Thomas Längle; Jürgen Beyerer;

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• 年度 2019
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