公开/公告号CN110132420A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-08-16
原文格式PDF
申请/专利权人 上海微电子装备(集团)股份有限公司;
申请/专利号CN201810135372.3
申请日2018-02-09
分类号G01J4/00(20060101);
代理机构31295 上海思捷知识产权代理有限公司;
代理人王宏婧
地址 201203 上海市浦东新区张东路1525号
入库时间 2024-02-19 13:17:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-09-10
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J4/00 申请日:20180209
实质审查的生效
2019-08-16
公开
公开
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