化学蒸镀用的有机铂化合物及使用该有机铂化合物的化学蒸镀方法

摘要

本发明是一种有机铂化合物，该有机铂化合物用于通过化学蒸镀法制造铂薄膜或铂化合物薄膜，其特征在于，是以下式表示的、由己二烯或己二烯衍生物以及烷基阴离子与2价的铂配位而成的有机铂化合物。下式中，作为取代基的R1、R2为烷基；R1、R2可以不同；此外，R3、R4为氢或烷基；R3、R4可以不同。本发明的铂化合物的稳定性良好，在成膜时不会产生有毒物质，因此处理性也良好，实用性优异。此外，其蒸气压高，能进行低温下的成膜，作为容易进行立体结构上的成膜的CVD原料有用。[化1]