公开/公告号CN103569957A
专利类型发明专利
公开/公告日2014-02-12
原文格式PDF
申请/专利权人 无锡英普林纳米科技有限公司;
申请/专利号CN201310562904.9
发明设计人 卢明辉;
申请日2013-11-12
分类号B81C99/00;
代理机构南京知识律师事务所;
代理人李媛媛
地址 214192 江苏省无锡市芙蓉中三路99号
入库时间 2024-02-19 21:36:01
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-06-22
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B81C99/00 申请公布日:20140212 申请日:20131112
发明专利申请公布后的视为撤回
2014-03-12
实质审查的生效 IPC(主分类):B81C99/00 申请日:20131112
实质审查的生效
2014-02-12
公开
公开
机译: 用于制造亚微米和微米级光学光刻聚合物结构的方法和装置以及所得聚合物的结构
机译: 具有微米和亚微米结构,另一个微装置和纳米装置的半导体制造过程中的光机械型结构制备方法
机译: 在聚合物上制备具有纳米,微米和/或亚微米结构的纳米表面的方法