公开/公告号CN103540310A
专利类型发明专利
公开/公告日2014-01-29
原文格式PDF
申请/专利权人 上海大学;
申请/专利号CN201310480051.4
申请日2013-10-11
分类号C09K11/02(20060101);C09K11/85(20060101);G01N21/64(20060101);B82Y30/00(20110101);B82Y20/00(20110101);B82Y40/00(20110101);
代理机构上海上大专利事务所(普通合伙);
代理人顾勇华
地址 200444 上海市宝山区上大路99号
入库时间 2024-02-19 21:27:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-10-07
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C09K11/02 申请公布日:20140129 申请日:20131011
发明专利申请公布后的视为撤回
2014-03-12
实质审查的生效 IPC(主分类):C09K11/02 申请日:20131011
实质审查的生效
2014-01-29
公开
公开
机译: 用于晶圆表面计量的先进基于站点的纳米形貌的系统和方法
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