应用于多晶硅定向凝固提纯的组合式坩埚

摘要

本发明属于多晶硅提纯领域，具体涉及一种应用于多晶硅定向凝固提纯的组合式坩埚，包括石英坩埚壁和石墨坩埚底，石英坩埚壁的下端与石墨坩埚底相互拼接；其中，石英坩埚壁为上下贯通的立体结构，石墨坩埚底的横截面形状与石英坩埚壁的横截面形状一致。本发明的优点在于：（1）采用石墨材质作为坩埚底，充分利用石墨导热系数大的优点，提高了定向凝固效果，大大节约了能耗；（2）石英坩埚壁和石墨坩埚底采用拼接的方式连接，方便出现破损时更换，减小了成本；（3）固液界面控制稳定，波动小，方便杂质向硅锭顶端聚集，从而除杂效果好。